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    bob体育怎么样工BOB

    电子级磷酸


    电子级磷酸

    性状：无色粘稠液体（＞42℃），密度：1.672g/ml，熔点：42.35℃，沸点：158℃，黏度：85%水溶液。

    用途：主要用于大规模集成电路（IC）、薄膜液晶显示器（TFT-LCD）、半导体等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻；还可制备高纯磷酸盐。

    主要技术指标：

    指标名称
    E1
    E2
    浓度（H3PO4%)
    85~87
    85~87
    NO3(ppm）
    5
    0.5
    SO4(ppm）
    10
    5
    Cl(ppm）
    1
    0.5
    Al(ppb）
    200
    50
    B(ppb）
    -
    50
    Sb(ppb）
    3000
    300
    As(ppb）
    100
    20
    Ba(ppb）
    100
    20
    Cd(ppb）
    100
    20
    Ca(ppb）
    1000
    50
    Cr(ppb）
    100
    20
    Co(ppb）
    100
    20
    Cu(ppb）
    50
    20
    Fe(ppb）
    300
    50
    Ga(ppb）
    100
    10
    Au(ppb）
    100
    10
    Pb(ppb）
    100
    20
    Li(ppb）
    100
    10
    Mg(ppb）
    100
    20
    Mn(ppb）
    100
    20
    Ni(ppb）
    100
    20
    K(ppb）
    100
    20
    Na(ppb）
    500
    50
    Ag(ppb）
    100
    20
    Sr(ppb）
    100
    20
    Sn(ppb）
    -
    10
    Ti(ppb）
    100
    50
    Zn(ppb）
    100
    50
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