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电子级磷酸


电子级磷酸

性状:无色粘稠液体(>42℃),密度:1.672g/ml,熔点:42.35℃,沸点:158℃,黏度:85%水溶液。

用途:主要用于大规模集成电路(IC)、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)、半导体等微电子工业,主要用于芯片的清洗和蚀刻;还可制备高纯磷酸盐。

主要技术指标:

指标名称
E1
E2
浓度(H3PO4%)
85~87
85~87
NO3(ppm)
5
0.5
SO4(ppm)
10
5
Cl(ppm)
1
0.5
Al(ppb)
200
50
B(ppb)
-
50
Sb(ppb)
3000
300
As(ppb)
100
20
Ba(ppb)
100
20
Cd(ppb)
100
20
Ca(ppb)
1000
50
Cr(ppb)
100
20
Co(ppb)
100
20
Cu(ppb)
50
20
Fe(ppb)
300
50
Ga(ppb)
100
10
Au(ppb)
100
10
Pb(ppb)
100
20
Li(ppb)
100
10
Mg(ppb)
100
20
Mn(ppb)
100
20
Ni(ppb)
100
20
K(ppb)
100
20
Na(ppb)
500
50
Ag(ppb)
100
20
Sr(ppb)
100
20
Sn(ppb)
-
10
Ti(ppb)
100
50
Zn(ppb)
100
50