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电子级磷酸
性状:无色粘稠液体(>42℃),密度:1.672g/ml,熔点:42.35℃,沸点:158℃,黏度:85%水溶液。
用途:主要用于大规模集成电路(IC)、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)、半导体等微电子工业,主要用于芯片的清洗和蚀刻;还可制备高纯磷酸盐。
主要技术指标:
贵公网安备 52010202000394号